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一种电容式芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式芯片结构。本发明提供一种改进型的电容式芯片结构。本发明包括下极板（3）、中间极板（4）和上极板（6），下极板（3）与中间极板（4）之间为下腔体，上极板（6）与中间极板（...
该专利属于姜贵民所有，仅供学习研究参考，未经过姜贵民授权不得商用。

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