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本发明提供一种制备多级台阶微结构的方法，其包括如下步骤：(1)在衬底上制备光刻胶涂层；(2)设计初始曝光版图，所述初始曝光版图为灰度图，且所述灰度图中每个像素点的灰度值为0
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该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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