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耗尽型高压NMOS元件与耗尽型低压NMOS元件整合制造方法技术
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文档序号:37800537
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一种耗尽型高压NMOS元件与耗尽型低压NMOS元件整合制造方法,包含:提供基板;形成半导体层于基板上;形成多个绝缘区于半导体层上;形成N型阱区于耗尽型高压NMOS元件区中;形成高压P型阱区于半导体层中,其中N型阱区与高压P型阱区于通道方向上...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。
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