下载蚀刻设备的精度校准装置的技术资料

文档序号:37800000

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本实用新型公开了蚀刻设备的精度校准装置,涉及蚀刻设备技术领域,解决了蚀刻液等飞溅至红外接收器表面粘连而影响红外接收器的定位使用的问题,包括工作台,还包括横向安装在所述工作台表面的输送带,所述输送带表面两侧固定安装有侧板,所述侧板内侧中端底部...
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