下载一种自动化塑封系统的技术资料

文档序号:37798766

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本发明公开了一种自动化塑封系统,属于半导体生产设备领域。该自动化塑封系统,包括:塑封压机,设置在塑封压机一侧的移载装置,设置在移载装置一端的上料装置,以及设置在移载装置另一端的下料装置,移载装置包括设置在塑封压机一侧的第一移载机构,设置在第...
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