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本发明公开了一种具有腔体自动压力平衡组件的晶圆设备及运行方法，包括：传送模块，该传送模块一侧设置有两个工艺腔，每个工艺腔处设置有门板，工艺腔的一侧设置有压力平衡组件，门板上设置有门阀；压力平衡组件包括连通于工艺腔的第一连接管、与第一连接管连...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

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