下载感测晶片结构、晶片级感测构装结构与制作方法的技术资料

文档序号:3779742

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种感测晶片结构、晶片级感测构装结构及其制作方法,其 制作方法步骤包含:提供一包含感测芯片的晶片,其感测芯片具有感测区与焊 垫;形成一应力释放层于晶片表面;披覆一光阻层于应力释放层上;图案化光 刻胶层以露出焊垫及部分的应力释放层...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。