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本发明提供一种激光退火方法及系统，涉及集成电路制造领域。其中，该方法包括：使用第一激光模块向晶圆发射波长为第一波长的第一激光束，使用第二激光模块向晶圆发射波长为第二波长的第二激光束；测量晶圆对第二波长和第一波长的激光束的反射率，并获得反射率...
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