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本发明公开了一种铁氧体基薄膜电路产品制备方法,属于微波集成电路技术领域;包括如下步骤:S1在铁氧体基板上依次制备过渡层和预制层;S2在预制层表面非图形部分覆盖光刻胶,其后电沉积铜镀层;S3在铜镀层表面依次沉积阻挡层和焊接层;S4去除预制层表...该专利属于四川科尔威光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川科尔威光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种铁氧体基薄膜电路产品制备方法,属于微波集成电路技术领域;包括如下步骤:S1在铁氧体基板上依次制备过渡层和预制层;S2在预制层表面非图形部分覆盖光刻胶,其后电沉积铜镀层;S3在铜镀层表面依次沉积阻挡层和焊接层;S4去除预制层表...