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激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置制造方法及图纸
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下载激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置的技术资料
文档序号:37794147
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本公开提供了一种激光器谐振腔中角度反射镜的调节方法和装置,该方法包括:设置OC耦合输出镜,使OC耦合输出镜与激光器的激光增益介质和前腔镜构成子谐振腔,产生基准激光;在OC耦合输出镜与角度反射镜之间设置第一孔径光阑,调节角度反射镜,使角度反射...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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