温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种真空晶圆托盘及半导体缺陷检测系统，在托盘盘面内侧面设有覆盖托盘盘面内侧面的吸光板。吸光板与托盘承载的晶圆片之间的间隔距离为第一距离值，该第一距离值数值设定使得，当对所述晶圆片进行图像机器视觉检测时，所述吸光板处于清晰对焦...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。