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本发明涉及真空处理设备和真空处理方法，用于执行等离子体法，在真空室（１）中进行处理，真空室内设有用于产生低压弧光放电（１５）（ＮＶＢＥ）的、包括阴极（１０）和可通过电弧发生器与阴极电连接的阳极（１３）的装置、可与偏压发生器（１６）电连接且用...该专利属于奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。
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本发明涉及真空处理设备和真空处理方法，用于执行等离子体法，在真空室（１）中进行处理，真空室内设有用于产生低压弧光放电（１５）（ＮＶＢＥ）的、包括阴极（１０）和可通过电弧发生器与阴极电连接的阳极（１３）的装置、可与偏压发生器（１６）电连接且用...