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本发明请求保护一种高频多层膜声表面波谐振器，其包括了压电薄膜、金属电极、SiO2低声阻抗层、Pt高声阻抗层和Si基底；其中金属电极位于压电薄膜上，SiO2低声阻抗层和Pt高声阻抗层依次交替，共5层位于压电薄膜下，基底上。本发明在压电薄膜，低...
该专利属于重庆邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆邮电大学授权不得商用。

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