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一种提高管筒件内壁涂层表面光洁度和膜基结合强度的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:37791144
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一种提高管筒件内壁涂层表面光洁度和膜基结合强度的装置及方法,本发明为了解决管筒件内壁涂层表面光洁度差、膜基结合强度弱的问题。本发明提高管筒件内壁涂层表面光洁度和膜基结合强度的装置包括金属阴极弧源、磁场线圈、挡板、屏蔽罩、屏蔽挡板、阳极杆、辅...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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