下载一种纳米薄膜芯体及复合传感器的技术资料

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本发明提出了一种纳米薄膜芯体及复合传感器,涉及传感器领域。该芯体包括由法兰形的弹性梁和管状探头形成的T型芯体,且弹性梁的顶部设有纳米薄膜敏感元件。该复合传感器包括纳米薄膜芯体、前盖、后盖、电气接头、温度传感器和PCB处理板,前盖穿过管状探头...
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