下载一种芯片可靠性测试方法及装置的技术资料

文档序号:37787617

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本发明实施例提供一种芯片可靠性测试方法及装置,涉及半导体制造领域。该方法应用于芯片可靠性测试装置,芯片可靠性测试装置包括温度循环测试箱和待测试封装芯片,温度循环测试箱包括温度测试腔和可旋转隔热板。该方法包括:将待测试封装芯片安装于可旋转隔热...
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