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本申请公开了一种工件的位置调整方法及系统。该方法包括:控制水平运动装置和垂向运动装置带动承载平台上的工件移动,根据水平运动装置和垂直运动装置的运动数据确定工件的实际高度值,根据实际高度值和目标高度值的差值控制垂向运动装置运动,使工件移动至目...该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。
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