下载异质结电池的制备方法及成膜设备的技术资料

文档序号:37784634

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本发明涉及异质结电池技术领域,具体提供一种异质结电池的制备方法及成膜设备。异质结电池的制备方法包括:提供半导体衬底,半导体衬底具有相对设置的第一表面和第二表面;以第一温度范围,分别在第一表面形成第一非晶半导体层,在第二表面形成第二非晶半导体...
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