下载光掩膜版的制作方法的技术资料

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一种光掩膜版的制作方法,包括:提供透明基板,所述透明基板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面;在所述透明基板的第一表面上形成多个分立的遮蔽图形;当部分形成的相邻的两所述遮蔽图形之间的间距偏大时,通过选择性形成工艺,选择性的在所述间距偏...
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