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本发明公开的一种垂直结构氮化镓基发光二极管的制作方法,在垂直结构氮化镓基发光二极管的制作过程中,采用n型GaN基材料作为极性接触外延层,极性接触外延层呈现氮极性,去除临时生长衬底,其表面又呈现为镓极性;基于上述基础,在极性接触外延层上制作n...该专利属于厦门市三安光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开的一种垂直结构氮化镓基发光二极管的制作方法,在垂直结构氮化镓基发光二极管的制作过程中,采用n型GaN基材料作为极性接触外延层,极性接触外延层呈现氮极性,去除临时生长衬底,其表面又呈现为镓极性;基于上述基础,在极性接触外延层上制作n...