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本发明涉及一种玻璃基板支撑吸附装置及具有该装置的机台，支撑吸附装置包含：包括多个彼此平行配置、分别具有主支撑面的第一方向基架的主基架组，其中，主支撑面彼此共平面，且主支撑面上形成带有气孔并连通至气压调节装置的气道；及与该第一方向基架以一个夹...
该专利属于中茂电子(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中茂电子(深圳)有限公司授权不得商用。

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