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本发明提供一种多能场耦合辅助增强射流交叉孔去毛刺化学机械抛光装备及加工方法，包括机架和安装在机架内的加工舱，收集舱，过滤舱，物料舱，水箱，喷嘴系统，光源，超声发生器，真空泵，高压泵，控制系统和外壳钣金。其将化学机械抛光方法应用于相交内孔抛光...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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