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本发明涉MEMS音频转换器、用于所述MEMS音频转换器的转换单元(2)及其制造方法。所述转换单元包括：载体(4)；至少一个转换元件(5)，其与所述载体(4)连接且可沿升降轴(H)偏转；用于将转换元件(5)和与转换元件(5)隔开的膜片(3)连...
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