【技术实现步骤摘要】
具有由胶粘剂制成的阻尼层的MEMS音频转换器
[0001]本专利技术涉及一种用于MEMS音频转换器的转换单元，所述转换单元具有：载体；至少一个转换元件，所述转换元件与所述载体连接且可沿升降轴偏转；用于将所述转换元件和与所述转换元件隔开的膜片连接在一起的耦合元件，所述耦合元件可沿所述升降轴运动；以及构建在所述转换元件与所述耦合元件之间的弹簧区域，所述弹簧区域具有至少一个弹簧元件，所述弹簧元件将所述转换元件与所述耦合元件可移动式连接在一起，且所述弹簧区域具有阻尼层，所述阻尼层至少部分地覆盖所述弹簧元件，此外，本专利技术还涉及一种MEMS音频转换器以及这种转换单元和/或这种MEMS音频转换器的制造方法。
技术介绍
[0002]DE 10 2015 114 242 A1揭示过一种具有致动器和膜片的MEMS扬声器，致动器和膜片在升降轴的方向上相互隔开且通过升降结构间接相连。其中，此致动器通过柔性连接元件与此升降结构连接。此柔性连接元件必须构建得极为精细，以确保升降结构和致动器的最佳运动。其缺点在于，在机械振动下，例如当MEMS扬声器坠...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于MEMS音频转换器的转换单元(2)，具有：载体(4)，至少一个转换元件(5)，所述转换元件(5)与所述载体(4)连接且可沿升降轴(H)偏转，用于将所述转换元件(5)和与所述转换元件(5)隔开的膜片(3)连接在一起的耦合元件(13)，所述耦合元件(13)可沿所述升降轴(H)运动，以及构建在所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)之间的弹簧区域(14)，所述弹簧区域(14)具有至少一个弹簧元件(15，30)，所述至少一个弹簧元件(15，30)将所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)可移动式连接在一起，且所述弹簧区域(14)具有阻尼层(31)，所述阻尼层(31)至少部分地覆盖所述弹簧元件(15，30)，其特征在于，所述阻尼层(31)由固化的胶粘剂(32)形成。2.根据权利要求1所述的转换单元，其特征在于，所述固化的胶粘剂(32)具有弹性，和/或具有小于10MPa的弹性模量，以及/或者所述固化的胶粘剂(32)具有触变性，使其粘度因持续变形而降低。3.根据权利要求1
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2中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述固化的胶粘剂(32)具有0.5至1.5g/cm3，特别是1.09g/cm3的密度，以及/或者，所述固化的胶粘剂(32)是无溶剂的。4.根据权利要求1
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3中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述弹簧区域(14)具有至少一个连贯的凹槽(18，24)，其中所述凹槽(18，24)优选将所述弹簧元件的纵侧(19，25)切断，以及所述阻尼层(31)至少部分地覆盖和/或跨越所述至少一个凹槽(18，24)。5.根据权利要求1
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4中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述阻尼层(31)布置在所述弹簧区域(14)的第一侧和/或第二侧(20，21)上。6.根据权利要求1
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5中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述阻尼层(31)沿所述升降轴(H)的方向布置在所述凹槽(18，24)的凹槽开口(22)的区域内并且跨越所述凹槽(18，24)，使得所述凹槽(18，24)的连接所述凹槽开口(22)的内区域(23)是无胶粘剂的。7.根据权利要求1
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6中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述至少一个凹槽(18，24)具有：第一区段(26)，所述第一区段(26)构建在同一弹簧元件(15，30)的两个相对的弹簧元件区段(16，17)之间，第二区段(27)，所述第二区段(27)构建在所述弹簧元件(15，30)与所述转换元件(5)之间，第三区段(28)，所述第三区段(28)构建在所述弹簧元件(15，30)与所述耦合元件(13)之间，和/或第四区段(29)，所述第四区段(29)构建在两个相邻的弹簧元件(15，30)之间。8.根据权利要求1
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7中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述阻尼层(31)至少部分地覆盖所述耦合元件(13)的连接所述弹簧区域(...
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