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本说明涉及一种基板处理的发明，具体而言，涉及一种临时装载基板的装载锁定模块，包括：腔体(100)，至少形成一个密闭的内部空间(S)；基板支撑部(150),设置于上述内部空间(S),并支撑基板(10)；气体喷射部(140)，设置于上述腔体(1...
该专利属于圆益IPS股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圆益IPS股份有限公司授权不得商用。

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