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用于柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统误差补偿方法，属于超精密加工技术领域。所述方法包括以下步骤：S1、分析柱面菲涅尔五轴机运动链，建立所述五轴机床运动学模型和机床误差模型；S2、利用傅里叶幅值敏感性分析方法，分析五轴机床的15项位置无关几...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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