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本发明提供一种激光退火反应装置，其包括：高压腔体、载片台、穿透板、第一调压阀和第二调压阀；高压腔体的内部设置有反应腔室，高压腔体的表面开设有照射口、进气口和排气口，照射口、进气口和排气口分别与反应腔室连通；高压腔体用于通过进气口向反应腔室充...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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