下载生长Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的方法以及制造发光器件和电子器件的方法的技术资料

文档序号:3777515

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本发明提供了一种生长Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的方法以及制造发光器件和电子器件的方法,其中降低了危险并能够在低温下有效地供应氮。所述生长Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的方法包括下列步骤。首先,准备含选自一甲胺和一乙胺中的至少一种物质的气体以作为氮原料。然后...
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