下载一种体声波谐振器及其制备方法的技术资料

文档序号:37774911

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本发明公开了一种体声波谐振器,其特征在于,包括:衬底、布拉格反射栅、压电层、叉指电极;所述布拉格反射栅位于所述衬底上,所述压电层位于所述布拉格反射栅上,所述叉指电极位于所述压电层上;所述布拉格反射栅包括多层低声阻抗层和多层高声阻抗层,所述高...
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