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本发明公开一种用于带沟槽晶圆三层胶一次曝光一次显影的金属剥离方法，包括在晶圆表面上包括凹槽内依次旋涂或喷涂第一层感光光刻胶、不感光的光刻胶和另一层感光光刻胶，共三层胶，之后再选择光刻板进行一次曝光，依次进行一次显影、溅射金属、超声波浸泡和剥...
该专利属于陕西光电子先导院科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西光电子先导院科技有限公司授权不得商用。

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