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相变化存储装置制造方法及图纸
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下载相变化存储装置的技术资料
文档序号:3777364
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一种相变化存储装置,包括基底,相变化层位于基底上方,第一电极电性连接相变化层的第一侧,第二电极电性连接相变化层的第二侧,其中相变化层主要包括Ga、Sb、Te和一些必须的掺杂物,该相变化层的组成范围是:Ga↓[x]Te↓[y]Sb↓[z]5<...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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