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铁电电容的电流退火结构及方法技术
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文档序号:37772803
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本公开提供一种铁电电容的电流退火结构,包括:顶电极金属层,其设置有延伸而出的两个顶电极PAD;底电极金属层,其设置有延伸而出的两个底电极PAD;铁电电容,设置于所述顶电极金属层和底电极金属层之间并与所述顶电极金属层和底电极金属层相贴合;通过...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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