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薄膜晶体管及其制备方法技术
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文档序号:37771567
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一种薄膜晶体管及其制备方法,该薄膜晶体管包括至少一个薄膜晶体管单元,一个薄膜晶体管单元包括设置在基底上的栅电极层以及有源层,所述栅电极与所述有源层绝缘,所述有源层包括第一部分和第二部分,所述第一部分位于所述栅电极层远离所述基底一侧,且所述第...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。
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