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本发明提供一种涂敷性优异的保护膜形成用组合物、保护膜、保护膜的形成方法、及经图案化的基板的制造方法。一种保护膜形成用组合物，用于仅在基板的周缘部形成保护膜，所述保护膜形成用组合物含有具有芳香环的化合物与溶媒，所述溶媒包含标准沸点为156℃以...
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