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本发明提供一种闪存存储器版图、闪存存储器及其制作方法，版图包括：有源区版图层，包括多个沿第一方向平行排列的有源区，有源区包括有效有源区与虚拟有源区；第一浮栅版图层，包括多个沿第二方向平行排列的第一浮栅图形；第二浮栅版图层，包括多个沿第二方向...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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