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本发明公开了一种基于测厚仪温度补偿的厚度测量方法、系统及相关设备，方法包括：根据测厚仪对待测产品进行厚度测量；获取上述测厚仪中探测器的内部温度值以及上述内部温度值对应的探测器输出均值，其中，上述内部温度值对应的探测器输出均值是该内部温度值下...
该专利属于广东正业科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东正业科技股份有限公司授权不得商用。

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