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本申请适用于电子元器件检测技术领域,提供了一种真空封装器件内部气氛的测试工装、方法和校准方法,该测试工装包括:第一腔体、第二腔体、刺针结构和外置加热机构;第一腔体与第二腔体连通,第一腔体为测试腔体;在测试工装使用过程中,第一腔体与被测件压接...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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