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高压元件与低压元件整合制造方法技术
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文档序号:37767576
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一种高压元件与低压元件整合制造方法,包含:提供基板;形成半导体层于基板上;形成多个绝缘区于半导体层上,以定义高压元件区与低压元件区;形成第一高压阱区于半导体层中的高压元件区中;形成第二高压阱区于半导体层中,其中第一高压阱区与第二高压阱区于通...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。
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