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本发明适用于激光雷达技术领域,提供了一种调频光源及固态调频连续波激光雷达。调频光源包括激光光源以及硅光芯片,硅光芯片包括依次层叠设置的硅衬底、埋氧层、硅波导和覆盖层,硅波导包括P型掺杂区、N型掺杂区、形成于N型掺杂区上的第一电极,以及形成于...该专利属于深圳市速腾聚创科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市速腾聚创科技有限公司授权不得商用。
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本发明适用于激光雷达技术领域,提供了一种调频光源及固态调频连续波激光雷达。调频光源包括激光光源以及硅光芯片,硅光芯片包括依次层叠设置的硅衬底、埋氧层、硅波导和覆盖层,硅波导包括P型掺杂区、N型掺杂区、形成于N型掺杂区上的第一电极,以及形成于...