调频光源及固态调频连续波激光雷达制造技术

本发明专利技术适用于激光雷达技术领域，提供了一种调频光源及固态调频连续波激光雷达。调频光源包括激光光源以及硅光芯片，硅光芯片包括依次层叠设置的硅衬底、埋氧层、硅波导和覆盖层，硅波导包括P型掺杂区、N型掺杂区、形成于N型掺杂区上的第一电极，以及形成于P型掺杂区上的第二电极，激光光源集成于覆盖层上，通过调节加载至第一电极和第二电极之间的电压大小，能够实现硅波导折射率的调节并由此实现对激光束的调频带宽的调节。固态调频连续波激光雷达，包括上述调频光源，以及形成于硅光芯片上的光束控制组件和硅基相干接收器。本发明专利技术提供的调频光源及固态调频连续波激光雷达，可有效提高调频光源发出的激光束的调频带宽。提高调频光源发出的激光束的调频带宽。提高调频光源发出的激光束的调频带宽。

【技术实现步骤摘要】
调频光源及固态调频连续波激光雷达


[0001]本专利技术属于激光雷达
，尤其涉及一种调频光源及固态调频连续波激光雷达。

技术介绍

[0002]根据发射信号不同，激光雷达分为两类：脉冲激光雷达和连续波激光雷达。连续波激光雷达又可分为相位式激光雷达和调频连续波(Frequency ModulatedContinuous Wave，FMCW)激光雷达。其中，调频连续波激光雷达与脉冲激光雷达相比，具有如下技术优势：测距范围大；距离分辨率高；可实现多普勒测速；尺寸小，易集成。得益于以上优势，调频连续波激光雷达在高精度地图测绘和自动驾驶等领域有着广阔的应用前景。
[0003]但目前的调频连续波激光雷达所用光源发出的激光束的调频带宽较小，从而影响激光雷达的距离分辨能力。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种调频光源及固态调频连续波激光雷达，旨在解决现有技术中调频连续波激光雷达所用光源发出的激光束的调频带宽较小以及尺寸较大的技术问题。
[0005]本专利技术是这样实现的，第一方面，提供了一种调频光源，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调频光源，其特征在于，包括激光光源以及硅光芯片，所述硅光芯片包括依次层叠设置的硅衬底、埋氧层、硅波导和覆盖层，所述硅波导包括P型掺杂区、N型掺杂区、形成于所述N型掺杂区上的第一电极，以及形成于所述P型掺杂区上的第二电极，所述激光光源集成于所述覆盖层上，所述激光光源用于向外发射激光束，所述激光束能够通过所述覆盖层进入所述硅波导并经所述硅波导发出，且通过调节加载至所述第一电极和所述第二电极之间的电压大小，能够实现所述硅波导折射率的调节并由此实现对激光束的调频带宽的调节。2.如权利要求1所述的调频光源，其特征在于，所述硅波导还包括位于所述P型掺杂区以及所述N型掺杂区之间的本征区。3.如权利要求1或2所述的调频光源，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极之间施加正向电压，所述硅波导形成载流子注入型结构；或者，所述第一电极和所述第二电极之间施加负向电压，所述硅波导形成载流子耗尽型结构。4.如权利要求1所述的调频光源，其特征在于，所述硅波导还包括位于所述P型掺杂区以及所述N型掺杂区之间的氧化硅介质层，所述氧化硅介质层与所述P型掺杂区和所述N型掺杂区形成MOS电容。5.如权利要求4所述的调频光源，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极之间施加正向...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱瑞，汪敬，
申请(专利权)人：深圳市速腾聚创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：