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阳极遮挡装置以及阳极装置制造方法及图纸
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下载阳极遮挡装置以及阳极装置的技术资料
文档序号:37767014
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本发明提供了一种阳极遮挡装置,用于在对电镀件进行电镀时,对阳极板进行遮挡,包括:若干遮挡板,若干遮挡板沿一环形排列于阳极板与电镀件之间;若干驱动机构,驱动机构与遮挡板一一对应固定连接并用于驱动与其连接的遮挡板沿环形的径向位移。本发明还提供一...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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