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本发明提供了一种薄膜镀层均匀性的评价方法、改善方法和评价系统,通过在薄膜(1)镀膜的整个过程获取镀膜单元中挡板(2)表面不同位置的涂层(3)厚度或质量,对薄膜镀层均匀性进行评价。所述挡板(2)表面较厚的涂层(3)对应的薄膜(1)的镀层较薄,...该专利属于重庆金美新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆金美新材料科技有限公司授权不得商用。
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