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本发明公开了一种极间距可调的PECVD设备，包括腔体及腔盖，腔盖铰接于腔体顶部，腔盖内侧设有安装板，安装板底部设有喷淋极板，喷淋极板与安装板之间形成匀流腔，安装板上设有进气装置，腔盖外侧设有射频电源，射频电源通过第一导电元件与进气装置连接，...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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