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磁头检查方法、磁头检查装置、及磁头制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3776452
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本发明的磁头检查装置在制造工序中途的尽可能早的阶段进行薄膜磁头的写入轨道宽度的检查。将记录信号(励磁用信号)从焊盘输入到长形条状态的薄膜磁头,并使用在相当于磁头的悬浮高度的位置进行扫描移动的磁力显微镜(MFM)、扫描式霍尔探针显微镜(SHP...
该专利属于株式会社日立高科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高科技授权不得商用。
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