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本实用新型提供一种用于等离子枪的气路结构，所述用于等离子枪的气路结构适用于离子喷枪，所述离子喷枪包括基座部分、起弧腔以及线路连接部分，离子喷枪安装在离子注入腔体上；氙气经由第一气管将气体传输，经过手动调节阀门将气体传输至第二气管，在经过减压...
该专利属于北京凯世通半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京凯世通半导体有限公司授权不得商用。

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