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一种半导体晶圆清洗清洗槽液位恒定装置制造方法及图纸
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下载一种半导体晶圆清洗清洗槽液位恒定装置的技术资料
文档序号:37756985
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本实用新型提供一种半导体晶圆清洗清洗槽液位恒定装置,所述装置包括:下压头,上浮头,上封头,下封头,容器外壳组成。下压头侧面有导流槽,便于新药液通过;下压头底部连接口,用以和下封头连接杆对接,下压头顶部连接口,用以和上浮头底部连接口对接;上浮...
该专利属于昆山中辰矽晶有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山中辰矽晶有限公司授权不得商用。
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