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本发明提供一种半导体芯片的掩膜版结构及半导体器件,掩膜版结构包括:掩膜版主体,开设多个通孔,多个所述通孔呈矩形阵列布置;多个线边图形,设置于每个所述通孔的矩形边处;多个拐角图形,设置于每个所述通孔的矩形直角处;其中,每个所述通孔的外侧,所述...该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体芯片的掩膜版结构及半导体器件,掩膜版结构包括:掩膜版主体,开设多个通孔,多个所述通孔呈矩形阵列布置;多个线边图形,设置于每个所述通孔的矩形边处;多个拐角图形,设置于每个所述通孔的矩形直角处;其中,每个所述通孔的外侧,所述...