温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体基材治具技术领域，具体涉及一种半导体基材支撑用陶瓷治具，包括基座，为本陶瓷治具的主要支撑部分，托板的顶部安装有电机，双向螺杆，其连接在电机的输出端，螺纹套，其啮合连接在双向螺杆的表面两端，螺纹套的顶部均安装有夹紧板，硅胶...
该专利属于无锡市三六灵电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市三六灵电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。