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本实用新型提供一种晶圆传送盒，所述晶圆传送盒包括：晶圆传送盒主体、抽拉式挡板装置，其中，所述晶圆传送盒主体的侧壁设有透光窗口；所述抽拉式挡板装置包括滑槽组及活动挡板，所述滑槽组固定于设置有所述透光窗口的侧壁上，所述活动挡板放置于所述滑槽组中...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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