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本实用新型提供了一种半导体生产系统及其清刷装置，该清刷装置包括清洗槽和喷头：清洗槽设置有允许清理刷进入槽内的开口；喷头与清洗槽固定连接，用于向位于清洗槽内的清理刷喷洒清洗介质。本实用新型提供的半导体生产系统及其清刷装置，能够对毛刷或海绵刷等...
该专利属于湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司授权不得商用。

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